| 查看: 2466 | 回复: 14 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
[求助]
磁控溅射用的分子泵报警
|
||
| 在抽真空时，分子泵能正常工作。 可是到了关闭分子泵时，控制分子泵的模块示数从400开始下降，下降到30左右时，机器就会报警！！！并显示OLI，谁知道这是什么情况啊？？？这段时间一直这样。。。。。。。。。。。 |
回复此楼» 猜你喜欢
309分085801求调剂
已经有7人回复
-
生物学308分求调剂（一志愿华东师大）
已经有3人回复
-
求调剂：一志愿：南京大学 专业：0705 总分320 ，本科985，四六级已过
已经有3人回复
-
环境工程 085701，267求调剂
已经有14人回复
-
308求调剂
已经有12人回复
-
求调剂：085600材料与化工，考材科基，总分319
已经有21人回复
-
311求调剂
已经有8人回复
-
294分080500材料科学与工程求调剂
已经有13人回复
-
288求调剂 一志愿哈工大 材料与化工
已经有19人回复
-
288资源与环境专硕求调剂，不限专业，有学上就行
已经有23人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于磁控溅射参数
已经有15人回复
- 磁控溅射电机过载，电源打不开了
已经有2人回复
qfw_68
禁虫
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
|
应该翻看改分子泵的说明书。 参考： 检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。 第18/28页 https://www.docin.com/p-793944571.html |
4楼2015-10-22 10:15:18
qfw_68
新虫
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
7楼2015-10-22 13:06:07
qfw_68
无虫
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
8楼2015-10-22 13:09:14
2楼2015-10-22 09:50:27
3楼2015-10-22 09:50:40
qfw_68
新虫
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
5楼2015-10-22 10:15:45
怎么检查前级真空度是否过低？。？ 6楼2015-10-22 12:58:29
9楼2015-10-22 13:32:02
qfw_68
禁虫
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
10楼2015-10-22 13:38:12
