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睡睡谁谁金虫 (小有名气)
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磁控溅射用的分子泵报警
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| 在抽真空时,分子泵能正常工作。 可是到了关闭分子泵时,控制分子泵的模块示数从400开始下降,下降到30左右时,机器就会报警!!!并显示OLI,谁知道这是什么情况啊???这段时间一直这样。。。。。。。。。。。 |
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qfw_68
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10楼2015-10-22 13:38:12
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【答案】应助回帖
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睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
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应该翻看改分子泵的说明书。 参考: 检查输出线是否有短路现象;检查前级真空度是否过低。 第18/28页 https://www.docin.com/p-793944571.html |

4楼2015-10-22 10:15:18
睡睡谁谁
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6楼2015-10-22 12:58:29
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7楼2015-10-22 13:06:07










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怎么检查前级真空度是否过低?。?