| 查看: 2650 | 回复: 14 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
睡睡谁谁金虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射用的分子泵报警
|
|
| 在抽真空时，分子泵能正常工作。 可是到了关闭分子泵时，控制分子泵的模块示数从400开始下降，下降到30左右时，机器就会报警！！！并显示OLI，谁知道这是什么情况啊？？？这段时间一直这样。。。。。。。。。。。 |
回复此楼» 猜你喜欢
不应该看fileCode
已经有5人回复
-
2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B?
已经有7人回复
-
好奇怪的filecode
已经有6人回复
-
FileCode能看出啥？
已经有21人回复
-
长年满屏的广告，版主太不责任了。基金也等的急
已经有4人回复
-
filecode
已经有15人回复
-
关于Filecode分析方法
已经有4人回复
-
应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键
已经有35人回复
-
职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊
已经有4人回复
-
奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于磁控溅射参数
已经有15人回复
- 磁控溅射电机过载，电源打不开了
已经有2人回复
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85739.1
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7685
- 帖子: 39489
- 在线: 4852.7小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
10楼2015-10-22 13:38:12
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85739.1
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7685
- 帖子: 39489
- 在线: 4852.7小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
|
应该翻看改分子泵的说明书。 参考： 检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。 第18/28页 https://www.docin.com/p-793944571.html |
4楼2015-10-22 10:15:18
睡睡谁谁
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 765.9
- 帖子: 104
- 在线: 28.8小时
- 虫号: 3130769
- 注册: 2014-04-12
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
怎么检查前级真空度是否过低？。？ 6楼2015-10-22 12:58:29
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85739.1
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7685
- 帖子: 39489
- 在线: 4852.7小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
7楼2015-10-22 13:06:07
