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睡睡谁谁

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射用的分子泵报警

在抽真空时，分子泵能正常工作。 可是到了关闭分子泵时，控制分子泵的模块示数从400开始下降，下降到30左右时，机器就会报警！！！并显示OLI，谁知道这是什么情况啊？？？这段时间一直这样。。。。。。。。。。。
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。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。
1楼 2015-10-21 16:40:32
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
引用回帖:
6楼: Originally posted by 睡睡谁谁 at 2015-10-22 12:58:29
怎么检查前级真空度是否过低？。？...

通过真空计看反应室的真空度。前级真空度过低会造成反应室反抽分子泵。
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没有困难创造困难也要上网。
7楼2015-10-22 13:06:07
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
应该翻看改分子泵的说明书。
参考：
检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。
第18/28页
https://www.docin.com/p-793944571.html
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没有困难创造困难也要上网。
4楼2015-10-22 10:15:18
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睡睡谁谁

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by qfw_68 at 2015-10-22 10:15:18
应该翻看改分子泵的说明书。
参考：
检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。
第18/28页
https://www.docin.com/p-793944571.html

怎么检查前级真空度是否过低？。？
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。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。
6楼2015-10-22 12:58:29
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

看楼主的描述应该是反抽的可能性大。
反应室和分子泵之间的闸板阀应该在停分子泵时提前关闭，分子泵后面的机械泵应继续工作直至分子泵停转为止。
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没有困难创造困难也要上网。
8楼2015-10-22 13:09:14
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