| 查看: 2375 | 回复: 14 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
睡睡谁谁金虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射用的分子泵报警
|
|
| 在抽真空时，分子泵能正常工作。 可是到了关闭分子泵时，控制分子泵的模块示数从400开始下降，下降到30左右时，机器就会报警！！！并显示OLI，谁知道这是什么情况啊？？？这段时间一直这样。。。。。。。。。。。 |
回复此楼» 猜你喜欢
参与限项
已经有3人回复
-
假如你的研究生提出不合理要求
已经有7人回复
-
实验室接单子
已经有4人回复
-
全日制（定向）博士
已经有4人回复
-
对氯苯硼酸纯化
已经有3人回复
-
求助:我三月中下旬出站，青基依托单位怎么办？
已经有12人回复
-
不自信的我
已经有12人回复
-
所感
已经有4人回复
-
要不要辞职读博？
已经有7人回复
-
北核录用
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于磁控溅射参数
已经有15人回复
- 磁控溅射电机过载，电源打不开了
已经有2人回复
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
|
应该翻看改分子泵的说明书。 参考： 检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。 第18/28页 https://www.docin.com/p-793944571.html |
4楼2015-10-22 10:15:18
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
7楼2015-10-22 13:06:07
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
8楼2015-10-22 13:09:14
睡睡谁谁
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 765.9
- 帖子: 104
- 在线: 28.8小时
- 虫号: 3130769
- 注册: 2014-04-12
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2015-10-22 09:50:27
睡睡谁谁
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 765.9
- 帖子: 104
- 在线: 28.8小时
- 虫号: 3130769
- 注册: 2014-04-12
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2015-10-22 09:50:40
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
5楼2015-10-22 10:15:45
睡睡谁谁
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 765.9
- 帖子: 104
- 在线: 28.8小时
- 虫号: 3130769
- 注册: 2014-04-12
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
怎么检查前级真空度是否过低？。？ 6楼2015-10-22 12:58:29
睡睡谁谁
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 765.9
- 帖子: 104
- 在线: 28.8小时
- 虫号: 3130769
- 注册: 2014-04-12
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
9楼2015-10-22 13:32:02
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
10楼2015-10-22 13:38:12