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微维11

禁虫 (小有名气)

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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果用机械剥离的话,建议显影后再后烘几十秒保证基底干燥增加附着力。建议用磁控溅射度,热蒸镀的附着力比较低。剥离时可用丙酮,或NEP加热浸泡,然后几十秒超声清洗就够了,超声不宜过长。

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路漫漫其修远兮,吾将上下而求索!
2楼2015-11-25 00:12:08
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tangm

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by fengzikun at 2015-11-25 00:12:08
如果用机械剥离的话,建议显影后再后烘几十秒保证基底干燥增加附着力。建议用磁控溅射度,热蒸镀的附着力比较低。剥离时可用丙酮,或NEP加热浸泡,然后几十秒超声清洗就够了,超声不宜过长。
...

能超几十秒?膜不会掉吗?

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3楼2015-11-29 23:50:51
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fengzikun

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by tangm at 2015-11-29 23:50:51
能超几十秒?膜不会掉吗?
...

电极是用磁控长的,已经过多次实验了

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4楼2015-12-01 14:32:37
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tangm

新虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by fengzikun at 2015-12-01 14:32:37
电极是用磁控长的,已经过多次实验了
...

我也是磁控长的,长在硅片上,超十几秒会掉,可能不同的膜,附着力不一样

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5楼2015-12-02 08:52:51
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PXweng

新虫 (初入文坛)

哪家的正胶,做成这样,呵呵!联系打下Plsma

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有事电话说嘛13925288900
6楼2015-12-03 16:21:35
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雪下一年

新虫 (初入文坛)

最近我们公司买了一台光刻机,我显影老是控制不好怎么办,和环境温度和显影液温度有关系吗?显影液用的NAOH与水配的,到底显影多长时间合适,显影完我也不会看过不过,菜鸟求大神指导
7楼2016-01-28 16:47:31
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微维11

禁虫 (小有名气)

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8楼2016-01-29 07:10:18
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