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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8 2150显影不彻底
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

[求助] SU8 2150显影不彻底

最近用SU8 2150做光刻，在硅片上旋涂厚度300-400微米的光刻胶，前烘95度/3小时，后烘95度/30分钟。显微镜下发现显影总是不能显干净，曝光量应该没问题，之前做还成功过。有些地方甚至出现了错位。
大家遇到过这种情况吗？

显影图案底部



错位



显影图案顶部
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1楼 2013-04-25 13:39:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
weirensi: 金币+2, ★有帮助, 热板烘的，也是阶梯升温的。su8 还有国产的？能给点资料吗？ 2013-04-26 10:31:51
烘过了吧…………
没有按照阶梯升温的原则来嘛。热板烘的还是烘箱烘的？
下次可以用我们家的SU8
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2楼2013-04-25 17:55:30
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quanbaogang

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
weirensi: 金币+2, ★有帮助, 都是先用65后用95，而且都用过搅动或超声 2013-04-26 10:32:37
65度前后烘烤呢？
一般显影的时候需要搅动或者用吸管清洗。
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3楼2013-04-25 20:58:29
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quanbaogang

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
weirensi: 金币+5, ★★★很有帮助, 用了SU8官方推荐的Omnicoat，可能确实有影响 2013-04-30 21:50:33
从第二章图中可以看出显影应该没有问题，倒是SU8与基底的粘附有问题，这种情况我也遇到过。
如果你把基底修饰一层HMDS应该有帮助。其实，一般情况SU8不要这一步，但是去水烘烤不彻底的话就必须这样。
另外，显影时间需要适当加长。
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4楼2013-04-30 20:05:55
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huhan2010

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

烘的时间可以短一点啊
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未来的路要走好
5楼2013-05-02 18:14:34
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
显影的时候最好用能加热的磁力搅拌器，还需要反复冲洗
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6楼2013-05-02 19:04:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)
错位情况和图案边缘黑边情况我现在都还没解决掉，图案脱落情况也有，。初次接触su8 很多问题都在摸索中，正胶时都没发现这么多问题
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7楼2013-08-08 17:10:21
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