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weirensi至尊木虫 (著名写手)
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SU8 2150显影不彻底
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最近用SU8 2150做光刻，在硅片上旋涂厚度300-400微米的光刻胶，前烘95度/3小时，后烘95度/30分钟。显微镜下发现显影总是不能显干净，曝光量应该没问题，之前做还成功过。有些地方甚至出现了错位。 大家遇到过这种情况吗？  显影图案底部  错位  显影图案顶部 |
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5楼2013-05-02 18:14:34
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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2楼2013-04-25 17:55:30
quanbaogang
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3楼2013-04-25 20:58:29
quanbaogang
木虫 (正式写手)
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4楼2013-04-30 20:05:55