应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8 2150显影不彻底
51/1返回列表
查看: 1872  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

weirensi

至尊木虫 (著名写手)

[求助] SU8 2150显影不彻底

最近用SU8 2150做光刻，在硅片上旋涂厚度300-400微米的光刻胶，前烘95度/3小时，后烘95度/30分钟。显微镜下发现显影总是不能显干净，曝光量应该没问题，之前做还成功过。有些地方甚至出现了错位。
大家遇到过这种情况吗？

显影图案底部



错位



显影图案顶部
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-04-25 13:39:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
weirensi: 金币+2, ★有帮助, 都是先用65后用95，而且都用过搅动或超声 2013-04-26 10:32:37
65度前后烘烤呢？
一般显影的时候需要搅动或者用吸管清洗。
赞一下 回复此楼
3楼2013-04-25 20:58:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
weirensi: 金币+2, ★有帮助, 热板烘的，也是阶梯升温的。su8 还有国产的？能给点资料吗？ 2013-04-26 10:31:51
烘过了吧…………
没有按照阶梯升温的原则来嘛。热板烘的还是烘箱烘的？
下次可以用我们家的SU8
赞一下 回复此楼
2楼2013-04-25 17:55:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
weirensi: 金币+5, ★★★很有帮助, 用了SU8官方推荐的Omnicoat，可能确实有影响 2013-04-30 21:50:33
从第二章图中可以看出显影应该没有问题，倒是SU8与基底的粘附有问题，这种情况我也遇到过。
如果你把基底修饰一层HMDS应该有帮助。其实，一般情况SU8不要这一步，但是去水烘烤不彻底的话就必须这样。
另外，显影时间需要适当加长。
赞一下 回复此楼
4楼2013-04-30 20:05:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huhan2010

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

烘的时间可以短一点啊
赞一下 回复此楼
未来的路要走好
5楼2013-05-02 18:14:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭