| 查看: 1991 | 回复: 6 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
weirensi至尊木虫 (著名写手)
|
[求助]
SU8 2150显影不彻底
|
||
|
最近用SU8 2150做光刻，在硅片上旋涂厚度300-400微米的光刻胶，前烘95度/3小时，后烘95度/30分钟。显微镜下发现显影总是不能显干净，曝光量应该没问题，之前做还成功过。有些地方甚至出现了错位。 大家遇到过这种情况吗？  显影图案底部  错位  显影图案顶部 |
回复此楼» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有124人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【求助】光刻时显影不彻底
已经有6人回复
quanbaogang
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3449.9
- 帖子: 472
- 在线: 55.3小时
- 虫号: 273719
- 注册: 2006-08-20
- 性别: GG
- 专业: 物理化学
4楼2013-04-30 20:05:55
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-04-25 17:55:30
quanbaogang
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3449.9
- 帖子: 472
- 在线: 55.3小时
- 虫号: 273719
- 注册: 2006-08-20
- 性别: GG
- 专业: 物理化学
3楼2013-04-25 20:58:29
5楼2013-05-02 18:14:34
