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weirensi至尊木虫 (著名写手)
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[求助]
SU8 2150显影不彻底
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最近用SU8 2150做光刻,在硅片上旋涂厚度300-400微米的光刻胶,前烘95度/3小时,后烘95度/30分钟。显微镜下发现显影总是不能显干净,曝光量应该没问题,之前做还成功过。有些地方甚至出现了错位。 大家遇到过这种情况吗? 显影图案底部 错位 显影图案顶部 |
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【求助】光刻时显影不彻底
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reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
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6楼2013-05-02 19:04:30
yswyx
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2楼2013-04-25 17:55:30
quanbaogang
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3楼2013-04-25 20:58:29
quanbaogang
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4楼2013-04-30 20:05:55














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