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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 想请问一下有用AR-P5350 光刻胶的吗？用的什么显影液呢？为什么每次都显不干净
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微维11

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1楼 2015-10-19 16:15:49
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Vimon

铜虫 (正式写手)
准备在我们信电系学校做光刻，他们用的就是AR-P5350。
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2楼2015-11-24 13:21:55
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东环小苦逼

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

一般显影效果不好，首先考虑PEB时间和温度
然后考虑puddle形成情况
再考虑显影液，我这边用3037
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3楼2015-11-24 13:46:02
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:43:04
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:46:03
这胶我正在用，显影液用300-26，曝光时间长一点，具体使用参数网上有的。显影液的温度尽量不变（不要放在热源附近）

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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索！
4楼2015-11-24 23:55:13
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微维11

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5楼2015-11-25 09:12:33
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6楼2015-11-25 09:18:09
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:45:38
引用回帖:
6楼: Originally posted by 微维11 at 2015-11-25 09:18:09
我们也是AR300 26,1:7请问你们的显影时间是多久呢？？？我们曝光时间3.5s,其他跟说明书都一样，但是现在显影时间是10s，再显更久就显过了。而说明书给的参考时间是1min.还有室内温度没问题，感觉显干净就行了，但现 ...

恩，之前我也是是用60秒，重复性很好。可是昨天我得用100秒了（下雪了温度低）。显影的时候我建议不要晃动基片，5微米的结构做得出来。

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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索！
7楼2015-11-25 13:50:30
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微维11

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8楼2015-11-26 09:06:58
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微维11

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9楼2015-11-27 10:40:33
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微维11

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10楼2015-11-27 10:43:48
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