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微维11

禁虫 (小有名气)

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Vimon

铜虫 (正式写手)

准备在我们信电系学校做光刻,他们用的就是AR-P5350。
2楼2015-11-24 13:21:55
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东环小苦逼

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

一般显影效果不好,首先考虑PEB时间和温度
然后考虑puddle形成情况
再考虑显影液,我这边用3037
3楼2015-11-24 13:46:02
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:43:04
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:46:03
这胶我正在用,显影液用300-26,曝光时间长一点,具体使用参数网上有的。显影液的温度尽量不变(不要放在热源附近)

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路漫漫其修远兮,吾将上下而求索!
4楼2015-11-24 23:55:13
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微维11

禁虫 (小有名气)

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5楼2015-11-25 09:12:33
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微维11

禁虫 (小有名气)

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6楼2015-11-25 09:18:09
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:45:38
引用回帖:
6楼: Originally posted by 微维11 at 2015-11-25 09:18:09
我们也是AR300 26,1:7请问你们的显影时间是多久呢???我们曝光时间3.5s,其他跟说明书都一样,但是现在显影时间是10s,再显更久就显过了。而说明书给的参考时间是1min.还有室内温度没问题,感觉显干净就行了,但现 ...

恩,之前我也是是用60秒,重复性很好。可是昨天我得用100秒了(下雪了温度低)。显影的时候我建议不要晃动基片,5微米的结构做得出来。

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路漫漫其修远兮,吾将上下而求索!
7楼2015-11-25 13:50:30
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微维11

禁虫 (小有名气)

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8楼2015-11-26 09:06:58
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微维11

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9楼2015-11-27 10:40:33
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微维11

禁虫 (小有名气)

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10楼2015-11-27 10:43:48
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