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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-29 14:40:29
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-29 14:40:54
引用回帖:
9楼: Originally posted by 微维11 at 2015-11-27 10:40:33
请问你们是如何达到显影时间1min得,我们的室内温度22左右。1,甩胶4000r/min.甩60s.2,烘烤100℃4min.3,曝光光强为14.7mw/cm2,曝光3.7s(说明书里为55mj/cm2).然后显影时间是10s.显影液为AR300 26,  1:7.请问除了 ...

基片清洗后再烘烤除湿,或者用增附剂处理,以增加附着力;显影液:水是1:7,不知是不是;我们的室内温度是18-19度,温度低显影时间就长了。不要太纠结与标准答案复不复合,在光学显微镜甚至原子力上观察,图形出来了没有残胶就够了。
路漫漫其修远兮,吾将上下而求索!
11楼2015-11-27 10:55:18
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微维11

禁虫 (小有名气)

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12楼2015-11-27 19:23:00
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微维11

禁虫 (小有名气)

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13楼2015-11-27 19:24:56
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微维11

禁虫 (小有名气)

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14楼2015-11-29 14:44:05
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Vimon

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 微维11 at 2015-11-25 09:12:33
不知道他们用的什么显影液,我们用的AR—300 26,1:7,我们现在的显影时间是10s.说明书里给的参考时间是1min.不知道为什么会这样
...

我们用的也是AR-300 26,1:7,曝光强度9.9 mw/cm2,曝光时间1s,这样算下来整个曝光量只有9.9mj/cm2,与说明书中的55mj/cm2差距还是挺大的,不过显影1分钟后效果还可以,所以就一直这么用着。
15楼2016-10-11 15:27:33
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布筝11

木虫 (著名写手)


光刻胶放在冰箱里恒温保存,紫外光每次不稳定。

发自小木虫Android客户端
16楼2017-03-09 21:18:06
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