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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 想请问一下有用AR-P5350 光刻胶的吗？用的什么显影液呢？为什么每次都显不干净
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-29 14:40:29
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-29 14:40:54
引用回帖:
9楼: Originally posted by 微维11 at 2015-11-27 10:40:33
请问你们是如何达到显影时间1min得，我们的室内温度22左右。1,甩胶4000r/min.甩60s.2,烘烤100℃4min.3,曝光光强为14.7mw/cm2，曝光3.7s(说明书里为55mj/cm2).然后显影时间是10s.显影液为AR300 26，  1：7.请问除了 ...

基片清洗后再烘烤除湿，或者用增附剂处理，以增加附着力；显影液：水是1：7，不知是不是；我们的室内温度是18-19度，温度低显影时间就长了。不要太纠结与标准答案复不复合，在光学显微镜甚至原子力上观察，图形出来了没有残胶就够了。
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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索！
11楼2015-11-27 10:55:18
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微维11

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
12楼2015-11-27 19:23:00
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微维11

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
13楼2015-11-27 19:24:56
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微维11

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
14楼2015-11-29 14:44:05
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Vimon

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 微维11 at 2015-11-25 09:12:33
不知道他们用的什么显影液，我们用的AR—300 26，1：7，我们现在的显影时间是10s.说明书里给的参考时间是1min.不知道为什么会这样
...

我们用的也是AR-300 26，1:7，曝光强度9.9 mw/cm2，曝光时间1s，这样算下来整个曝光量只有9.9mj/cm2，与说明书中的55mj/cm2差距还是挺大的，不过显影1分钟后效果还可以，所以就一直这么用着。
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15楼2016-10-11 15:27:33
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布筝11

木虫 (著名写手)
光刻胶放在冰箱里恒温保存，紫外光每次不稳定。

发自小木虫Android客户端
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16楼2017-03-09 21:18:06
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