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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 想请问一下有用AR-P5350 光刻胶的吗？用的什么显影液呢？为什么每次都显不干净
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微维11

禁虫 (小有名气)
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1楼 2015-10-19 16:15:49
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-29 14:40:29
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-29 14:40:54
引用回帖:
9楼: Originally posted by 微维11 at 2015-11-27 10:40:33
请问你们是如何达到显影时间1min得，我们的室内温度22左右。1,甩胶4000r/min.甩60s.2,烘烤100℃4min.3,曝光光强为14.7mw/cm2，曝光3.7s(说明书里为55mj/cm2).然后显影时间是10s.显影液为AR300 26，  1：7.请问除了 ...

基片清洗后再烘烤除湿，或者用增附剂处理，以增加附着力；显影液：水是1：7，不知是不是；我们的室内温度是18-19度，温度低显影时间就长了。不要太纠结与标准答案复不复合，在光学显微镜甚至原子力上观察，图形出来了没有残胶就够了。
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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索！
11楼2015-11-27 10:55:18
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Vimon

铜虫 (正式写手)
准备在我们信电系学校做光刻，他们用的就是AR-P5350。
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2楼2015-11-24 13:21:55
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东环小苦逼

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

一般显影效果不好，首先考虑PEB时间和温度
然后考虑puddle形成情况
再考虑显影液，我这边用3037
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3楼2015-11-24 13:46:02
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:43:04
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:46:03
这胶我正在用，显影液用300-26，曝光时间长一点，具体使用参数网上有的。显影液的温度尽量不变（不要放在热源附近）

发自小木虫Android客户端
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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索！
4楼2015-11-24 23:55:13
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