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微维11

禁虫 (小有名气)

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Vimon

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 微维11 at 2015-11-25 09:12:33
不知道他们用的什么显影液,我们用的AR—300 26,1:7,我们现在的显影时间是10s.说明书里给的参考时间是1min.不知道为什么会这样
...

我们用的也是AR-300 26,1:7,曝光强度9.9 mw/cm2,曝光时间1s,这样算下来整个曝光量只有9.9mj/cm2,与说明书中的55mj/cm2差距还是挺大的,不过显影1分钟后效果还可以,所以就一直这么用着。
15楼2016-10-11 15:27:33
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查看全部 16 个回答

Vimon

铜虫 (正式写手)

准备在我们信电系学校做光刻,他们用的就是AR-P5350。
2楼2015-11-24 13:21:55
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东环小苦逼

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

一般显影效果不好,首先考虑PEB时间和温度
然后考虑puddle形成情况
再考虑显影液,我这边用3037
3楼2015-11-24 13:46:02
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:43:04
微维11: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-27 10:46:03
这胶我正在用,显影液用300-26,曝光时间长一点,具体使用参数网上有的。显影液的温度尽量不变(不要放在热源附近)

发自小木虫Android客户端
路漫漫其修远兮,吾将上下而求索!
4楼2015-11-24 23:55:13
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