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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 光刻胶显影不干净
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微维11

禁虫 (小有名气)
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1楼 2015-10-21 10:45:09
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雪下一年

新虫 (初入文坛)
最近我们公司买了一台光刻机，我显影老是控制不好怎么办，和环境温度和显影液温度有关系吗？显影液用的NAOH与水配的，到底显影多长时间合适，显影完我也不会看过不过，菜鸟求大神指导
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7楼2016-01-28 16:47:31
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fengzikun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果用机械剥离的话，建议显影后再后烘几十秒保证基底干燥增加附着力。建议用磁控溅射度，热蒸镀的附着力比较低。剥离时可用丙酮，或NEP加热浸泡，然后几十秒超声清洗就够了，超声不宜过长。

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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索！
2楼2015-11-25 00:12:08
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tangm

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fengzikun at 2015-11-25 00:12:08
如果用机械剥离的话，建议显影后再后烘几十秒保证基底干燥增加附着力。建议用磁控溅射度，热蒸镀的附着力比较低。剥离时可用丙酮，或NEP加热浸泡，然后几十秒超声清洗就够了，超声不宜过长。
...

能超几十秒？膜不会掉吗？

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3楼2015-11-29 23:50:51
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fengzikun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by tangm at 2015-11-29 23:50:51
能超几十秒？膜不会掉吗？
...

电极是用磁控长的，已经过多次实验了

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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索！
4楼2015-12-01 14:32:37
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