| 查看: 3349 | 回复: 27 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
净慧婍兴铁杆木虫 (小有名气)
|
[求助]
求助关于AlN薄膜 已有4人参与
|
|
|
因为实验需要，想制备一层AlN薄膜，要求 002 取向，用作压电。基片是100的抛光Si，还有110的抛光Si，都是N型掺杂。 采用磁控溅射制备：Al靶+N2和Ar气体。试过直流溅射和射频溅射，参数都调节了。就是做不成来 002 取向的AlN。 按理说AlN应该很好做。设备是沈科仪的，真空度差不多是 7.0*10-4。 求各位大神指教啊。小弟着急。 |
回复此楼» 猜你喜欢
明天应该可查了！？
已经有6人回复
-
有没有大神帮我看看基金代码
已经有10人回复
-
今天务委会开完了，明天出结果吗
已经有13人回复
-
放榜前的不淡定
已经有19人回复
-
某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感
已经有10人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有23人回复
-
在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。
已经有8人回复
-
今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果
已经有22人回复
-
什么时候开奖？
已经有13人回复
-
如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》
已经有8人回复
28楼2019-03-08 11:19:42
wanghuaxing 
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2015-09-14 21:19:08
净慧婍兴
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 5535.9
- 散金: 15
- 红花: 2
- 帖子: 83
- 在线: 26.8小时
- 虫号: 2605864
- 注册: 2013-08-19
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
3楼2015-09-15 07:56:36
wanghuaxing
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2015-09-15 22:02:34
