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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答中转子版 » 怎样切割和清洗硅片【有效期至2008年9月1日】
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ypfang

金虫 (小有名气)

[求助] 怎样切割和清洗硅片【有效期至2008年9月1日】

本人有4英寸的单面抛光硅片，用什么方法才能比较好的切割它？用来做SEM
怎样清洗硅片？
表面有薄膜和没有薄膜的，怎样才能使硅片清洗干净？
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1楼 2008-08-26 16:20:03
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supermen

铁杆木虫 (著名写手)
你想观察什么啊?断面还是 ?
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2楼2008-08-26 18:21:29
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羽剑

木虫 (著名写手)
硅片用镊子就可以弄断  清洗的时候可以在丙酮溶液中 超声
我们实验室以前就这么弄  不知道对楼主是否有帮助
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3楼2008-08-26 18:28:37
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ypfang

金虫 (小有名气)
是观察断面。切割要完整规则的
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4楼2008-08-26 18:41:39
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nobady

金虫 (正式写手)
普通的要求用玻璃刀就行，若做TEM好像会给你切个断面的吧！
清洗嘛，硅片有标准的清洗工艺！
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5楼2008-08-26 19:07:47
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ypfang

金虫 (小有名气)
请详细说明清洗方法。切割除用玻璃刀
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6楼2008-08-26 19:11:42
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dannyjackp

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by ypfang at 2008-8-26 19:11:
请详细说明清洗方法。

在丙酮，酒精中超声清洗；
丙酮，10min
酒精，10min
丙酮，10min
最后再用酒精，10min （1或2次）
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7楼2008-08-26 19:49:45
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vanhalen76

金虫 (正式写手)
哈哈我就是搞硅片的  最专业清洗硅片的办法 是用氢氟酸和硝酸 浓度配比是1：7-1：10 四寸的 ？有多厚 应该是600微米-200微米吧 最多五分钟 一般三分钟左右 就可以
有薄膜？是氧化膜还是镀的金属膜啊 你要说清楚 切割是怎么回事 是切断还是切成片？
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8楼2008-08-26 21:47:01
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chjw2010

铁杆木虫 (著名写手)

项目经理
普通的要求用玻璃刀就行，若做TEM好像会给你切个断面的吧！
清洗嘛，硅片有标准的清洗工艺！
最专业清洗硅片的办法 是用氢氟酸和硝酸 浓度配比是1：7-1：10 四寸的 ？有多厚 应该是600微米-200微米吧 最多五分钟 一般三分钟左右 就可以
有薄膜？是氧化膜还是镀的金属膜啊 你要说清楚 切割是怎么回事 是切断还是切成片？
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新的一年!
9楼2008-08-26 21:53:33
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shuangqingx

铁杆木虫 (著名写手)

宇宙超级无敌小菜鸟
★ ★ ★
ypfang(金币+3,VIP+0):谢谢你的帮助
清洗方法以消息回复给你了，呵呵
切割不好用玻璃刀，尤其是薄片的硅，会裂的。上次去的时候，有个有经验的老师傅教了，用薄的石英片切割，下面垫上玻璃纸，既不会刮花表面，也不会裂。
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低调做人
10楼2008-08-26 22:07:37
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