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ypfang

金虫 (小有名气)

[求助] 怎样切割和清洗硅片【有效期至2008年9月1日】

本人有4英寸的单面抛光硅片,用什么方法才能比较好的切割它?用来做SEM
怎样清洗硅片?
表面有薄膜和没有薄膜的,怎样才能使硅片清洗干净?

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羽剑

木虫 (著名写手)

硅片用镊子就可以弄断  清洗的时候可以在丙酮溶液中 超声
我们实验室以前就这么弄  不知道对楼主是否有帮助
3楼2008-08-26 18:28:37
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supermen

铁杆木虫 (著名写手)

你想观察什么啊?断面还是 ?
2楼2008-08-26 18:21:29
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ypfang

金虫 (小有名气)

是观察断面。切割要完整规则的
4楼2008-08-26 18:41:39
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nobady

金虫 (正式写手)

普通的要求用玻璃刀就行,若做TEM好像会给你切个断面的吧!
清洗嘛,硅片有标准的清洗工艺!
5楼2008-08-26 19:07:47
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