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ypfang

金虫 (小有名气)

[求助] 怎样切割和清洗硅片【有效期至2008年9月1日】

本人有4英寸的单面抛光硅片,用什么方法才能比较好的切割它?用来做SEM
怎样清洗硅片?
表面有薄膜和没有薄膜的,怎样才能使硅片清洗干净?

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supermen

铁杆木虫 (著名写手)

你想观察什么啊?断面还是 ?
2楼2008-08-26 18:21:29
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羽剑

木虫 (著名写手)

硅片用镊子就可以弄断  清洗的时候可以在丙酮溶液中 超声
我们实验室以前就这么弄  不知道对楼主是否有帮助
3楼2008-08-26 18:28:37
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ypfang

金虫 (小有名气)

是观察断面。切割要完整规则的
4楼2008-08-26 18:41:39
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nobady

金虫 (正式写手)

普通的要求用玻璃刀就行,若做TEM好像会给你切个断面的吧!
清洗嘛,硅片有标准的清洗工艺!
5楼2008-08-26 19:07:47
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ypfang

金虫 (小有名气)

请详细说明清洗方法。切割除用玻璃刀
6楼2008-08-26 19:11:42
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dannyjackp

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by ypfang at 2008-8-26 19:11:
请详细说明清洗方法。

在丙酮,酒精中超声清洗;
丙酮,10min
酒精,10min
丙酮,10min
最后再用酒精,10min (1或2次)
7楼2008-08-26 19:49:45
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vanhalen76

金虫 (正式写手)

哈哈我就是搞硅片的  最专业清洗硅片的办法 是用氢氟酸和硝酸 浓度配比是1:7-1:10 四寸的 ?有多厚 应该是600微米-200微米吧 最多五分钟 一般三分钟左右 就可以
有薄膜?是氧化膜还是镀的金属膜啊 你要说清楚 切割是怎么回事 是切断还是切成片?
8楼2008-08-26 21:47:01
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chjw2010

铁杆木虫 (著名写手)

项目经理

普通的要求用玻璃刀就行,若做TEM好像会给你切个断面的吧!
清洗嘛,硅片有标准的清洗工艺!
最专业清洗硅片的办法 是用氢氟酸和硝酸 浓度配比是1:7-1:10 四寸的 ?有多厚 应该是600微米-200微米吧 最多五分钟 一般三分钟左右 就可以
有薄膜?是氧化膜还是镀的金属膜啊 你要说清楚 切割是怎么回事 是切断还是切成片?
新的一年!
9楼2008-08-26 21:53:33
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shuangqingx

铁杆木虫 (著名写手)

宇宙超级无敌小菜鸟

★ ★ ★
ypfang(金币+3,VIP+0):谢谢你的帮助
清洗方法以消息回复给你了,呵呵
切割不好用玻璃刀,尤其是薄片的硅,会裂的。上次去的时候,有个有经验的老师傅教了,用薄的石英片切割,下面垫上玻璃纸,既不会刮花表面,也不会裂。
低调做人
10楼2008-08-26 22:07:37
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