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ypfang

金虫 (小有名气)

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[求助] 怎样切割和清洗硅片【有效期至2008年9月1日】

本人有4英寸的单面抛光硅片，用什么方法才能比较好的切割它？用来做SEM
怎样清洗硅片？
表面有薄膜和没有薄膜的，怎样才能使硅片清洗干净？

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1楼 2008-08-26 16:20:03

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shuangqingx

铁杆木虫 (著名写手)

宇宙超级无敌小菜鸟

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★ ★ ★
ypfang(金币+3,VIP+0):谢谢你的帮助

清洗方法以消息回复给你了，呵呵
切割不好用玻璃刀，尤其是薄片的硅，会裂的。上次去的时候，有个有经验的老师傅教了，用薄的石英片切割，下面垫上玻璃纸，既不会刮花表面，也不会裂。

赞一下(1人)

低调做人

10楼2008-08-26 22:07:37

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supermen

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你想观察什么啊?断面还是 ?

2楼2008-08-26 18:21:29

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羽剑

木虫 (著名写手)

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硅片用镊子就可以弄断清洗的时候可以在丙酮溶液中超声
我们实验室以前就这么弄不知道对楼主是否有帮助

3楼2008-08-26 18:28:37

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ypfang

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是观察断面。切割要完整规则的

4楼2008-08-26 18:41:39

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