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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答中转子版 » 怎样切割和清洗硅片【有效期至2008年9月1日】
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ypfang

金虫 (小有名气)

[求助] 怎样切割和清洗硅片【有效期至2008年9月1日】

本人有4英寸的单面抛光硅片，用什么方法才能比较好的切割它？用来做SEM
怎样清洗硅片？
表面有薄膜和没有薄膜的，怎样才能使硅片清洗干净？
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1楼 2008-08-26 16:20:03
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dannyjackp

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by ypfang at 2008-8-26 19:11:
请详细说明清洗方法。

在丙酮，酒精中超声清洗；
丙酮，10min
酒精，10min
丙酮，10min
最后再用酒精，10min （1或2次）
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7楼2008-08-26 19:49:45
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supermen

铁杆木虫 (著名写手)
你想观察什么啊?断面还是 ?
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2楼2008-08-26 18:21:29
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羽剑

木虫 (著名写手)
硅片用镊子就可以弄断  清洗的时候可以在丙酮溶液中 超声
我们实验室以前就这么弄  不知道对楼主是否有帮助
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3楼2008-08-26 18:28:37
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ypfang

金虫 (小有名气)
是观察断面。切割要完整规则的
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4楼2008-08-26 18:41:39
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