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ypfang

金虫 (小有名气)

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[求助] 怎样切割和清洗硅片【有效期至2008年9月1日】

本人有4英寸的单面抛光硅片，用什么方法才能比较好的切割它？用来做SEM
怎样清洗硅片？
表面有薄膜和没有薄膜的，怎样才能使硅片清洗干净？

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1楼 2008-08-26 16:20:03

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chjw2010

铁杆木虫 (著名写手)

项目经理

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性别: GG
专业: 有机合成

普通的要求用玻璃刀就行，若做TEM好像会给你切个断面的吧！
清洗嘛，硅片有标准的清洗工艺！
最专业清洗硅片的办法是用氢氟酸和硝酸浓度配比是1：7-1：10 四寸的？有多厚应该是600微米-200微米吧最多五分钟一般三分钟左右就可以
有薄膜？是氧化膜还是镀的金属膜啊你要说清楚切割是怎么回事是切断还是切成片？