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seekingalex
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[交流]
光刻版使用中损伤问题及防护，求教！
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我们的光刻版（结构为I/O耦合的腔结构）在使用一段时间后会出现最小gap处金属结构损伤的情况，接连两块板都有这种情况。有人说是静电原因造成的，的确在大环上都有损伤出现而小环完好，可能是由于大环静电积累太多造成的。有人也遇到过这种情况吗？有没有什么好的处理办法？ R15G1.jpg |
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光刻版使用中出现结构缺损的问题，请大神帮忙解答一下。谢谢！紧急！！
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