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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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seekingalex

新虫 (初入文坛)


[交流] 光刻版使用中损伤问题及防护,求教!

我们的光刻版(结构为I/O耦合的腔结构)在使用一段时间后会出现最小gap处金属结构损伤的情况,接连两块板都有这种情况。有人说是静电原因造成的,的确在大环上都有损伤出现而小环完好,可能是由于大环静电积累太多造成的。有人也遇到过这种情况吗?有没有什么好的处理办法?

光刻版使用中损伤问题及防护,求教!
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