应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻版使用中损伤问题及防护，求教！
11/1返回列表
查看: 434  |  回复: 0
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

seekingalex

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻版使用中损伤问题及防护，求教！

我们的光刻版（结构为I/O耦合的腔结构）在使用一段时间后会出现最小gap处金属结构损伤的情况，接连两块板都有这种情况。有人说是静电原因造成的，的确在大环上都有损伤出现而小环完好，可能是由于大环静电积累太多造成的。有人也遇到过这种情况吗？有没有什么好的处理办法？

光刻版使用中损伤问题及防护，求教！
R15G1.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢
1楼 2015-07-08 15:48:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

科研从小木虫开始，人人为我，我为人人
相关版块跳转 我要订阅楼主 seekingalex 的主题更新
11/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭