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光刻版使用中出现结构缺损的问题,请大神帮忙解答一下。谢谢!紧急!!
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如下图中的结构,使用中出现了gap处的缺陷。之前一块版子也有这样的问题,这块是重新做的。不知道是什么原因,有没有哪位朋友也碰到过类似的问题?该怎么处理?有人说是静电造成的,有没有什么好的除静电的方法?谢谢! 11.jpg 12.jpg |
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10楼2015-07-03 09:37:15
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dmbb2楼
2015-07-02 18:28
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seekingalex(金币+1): 谢谢参与
tzynew3楼
2015-07-02 18:35
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沐-浅夏4楼
2015-07-02 18:40
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2015-07-02 18:58
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假大空6楼
2015-07-02 19:00
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seekingalex(金币+1): 谢谢参与


2015-07-02 19:04
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seeker918楼
2015-07-02 19:09
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郭大营9楼
2015-07-02 22:25
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