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seekingalex

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻版使用中出现结构缺损的问题，请大神帮忙解答一下。谢谢！紧急！！

如下图中的结构，使用中出现了gap处的缺陷。之前一块版子也有这样的问题，这块是重新做的。不知道是什么原因，有没有哪位朋友也碰到过类似的问题？该怎么处理？有人说是静电造成的，有没有什么好的除静电的方法？谢谢！

光刻版使用中出现结构缺损的问题，请大神帮忙解答一下。谢谢！紧急！！
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光刻版使用中出现结构缺损的问题，请大神帮忙解答一下。谢谢！紧急！！-1
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1楼 2015-07-02 17:58:56
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seekingalex

新虫 (初入文坛)
节操。。。
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10楼2015-07-03 09:37:15
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dmbb2楼
2015-07-02 18:28   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
tzynew3楼
2015-07-02 18:35   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
沐-浅夏4楼
2015-07-02 18:40   回复  
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shenrenren5楼
2015-07-02 18:58   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
假大空6楼
2015-07-02 19:00   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
150827944567楼
2015-07-02 19:04   回复  
seeker918楼
2015-07-02 19:09   回复  
祝福祝福
郭大营9楼
2015-07-02 22:25   回复  
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