应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻版使用中出现结构缺损的问题，请大神帮忙解答一下。谢谢！紧急！！
101/1返回列表
查看: 723  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

seekingalex

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻版使用中出现结构缺损的问题，请大神帮忙解答一下。谢谢！紧急！！

如下图中的结构，使用中出现了gap处的缺陷。之前一块版子也有这样的问题，这块是重新做的。不知道是什么原因，有没有哪位朋友也碰到过类似的问题？该怎么处理？有人说是静电造成的，有没有什么好的除静电的方法？谢谢！

光刻版使用中出现结构缺损的问题，请大神帮忙解答一下。谢谢！紧急！！
11.jpg


光刻版使用中出现结构缺损的问题，请大神帮忙解答一下。谢谢！紧急！！-1
12.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2015-07-02 17:58:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

seekingalex

新虫 (初入文坛)
节操。。。
回复此楼
10楼2015-07-03 09:37:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
dmbb2楼
2015-07-02 18:28   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
tzynew3楼
2015-07-02 18:35   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
沐-浅夏4楼
2015-07-02 18:40   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
shenrenren5楼
2015-07-02 18:58   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
假大空6楼
2015-07-02 19:00   回复  
seekingalex(金币+1): 谢谢参与
150827944567楼
2015-07-02 19:04   回复  
seeker918楼
2015-07-02 19:09   回复  
祝福祝福
郭大营9楼
2015-07-02 22:25   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 seekingalex 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭