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光刻版使用中出现结构缺损的问题,请大神帮忙解答一下。谢谢!紧急!!
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seekingalex
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光刻版使用中出现结构缺损的问题,请大神帮忙解答一下。谢谢!紧急!!
如下图中的结构,使用中出现了gap处的缺陷。之前一块版子也有这样的问题,这块是重新做的。不知道是什么原因,有没有哪位朋友也碰到过类似的问题?该怎么处理?有人说是静电造成的,有没有什么好的除静电的方法?谢谢!
11.jpg
12.jpg
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seekingalex
新虫
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虫号: 3361427
节操。。。
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