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The total power is 27.1-150.3 W at the gas flux of 0-50 sccm.
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andersonlyw: ½ð±Ò+50, ¡ï¡ï¡ï¡ï¡ï×î¼Ñ´ð°¸ 2015-06-03 17:36:16
The total power is 27.1-150.3 W at the gas flux of 0-50 sccm
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