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扭不死的鳖

新虫 (小有名气)

[求助] 将Si氧化为厚度可控的SiO2,跪求方法 已有1人参与

本人想把50nm左右的Si粉表面氧化成一层20nm左右的SiO2,但是不知道氧化条件,温度,时间等等,请了解相关工作的前辈多多指教,不甚感激
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原谅我这一生不羁放纵爱自由
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不断超越

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个需要根据不同的实验具体设备进行调节,,,
奋斗~~~收获
2楼2015-04-25 10:26:29
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扭不死的鳖

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 不断超越 at 2015-04-25 10:26:29
这个需要根据不同的实验具体设备进行调节,,,

马弗炉来氧化处理,温度多少,时间多久,麻烦告知
感激不尽
原谅我这一生不羁放纵爱自由
3楼2015-04-25 11:00:49
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