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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 将Si氧化为厚度可控的SiO2，跪求方法
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扭不死的鳖

新虫 (小有名气)

[求助] 将Si氧化为厚度可控的SiO2，跪求方法 已有1人参与

本人想把50nm左右的Si粉表面氧化成一层20nm左右的SiO2，但是不知道氧化条件，温度，时间等等，请了解相关工作的前辈多多指教，不甚感激
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原谅我这一生不羁放纵爱自由
1楼 2015-04-25 10:08:06
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不断超越

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个需要根据不同的实验具体设备进行调节，，，
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奋斗～～～收获
2楼2015-04-25 10:26:29
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扭不死的鳖

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 不断超越 at 2015-04-25 10:26:29
这个需要根据不同的实验具体设备进行调节，，，

马弗炉来氧化处理，温度多少，时间多久，麻烦告知
感激不尽
赞一下 回复此楼
原谅我这一生不羁放纵爱自由
3楼2015-04-25 11:00:49
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