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ALD过程的软件模拟?
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wuyanl2013
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ALD过程的软件模拟?
已有1人参与
我看很多生长过程都有软件模拟,像MOCVD可用fluent模拟,不知道有没有什么软件可以模拟ALD生长过程的,本人小菜鸟一只,望牛人们解惑?
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2015-04-24 09:54:33
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wuyanl2013: 金币+10,
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2015-06-26 11:17:55
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2015-06-26 09:30:05
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