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wuyanl2013

木虫 (职业作家)

[求助] ALD过程的软件模拟? 已有1人参与

我看很多生长过程都有软件模拟,像MOCVD可用fluent模拟,不知道有没有什么软件可以模拟ALD生长过程的,本人小菜鸟一只,望牛人们解惑?
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小七工作室1

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
wuyanl2013: 金币+10, 有帮助 2015-06-26 11:17:55
可以看看有关文献
2楼2015-06-26 09:30:05
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