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wuyanl2013

木虫 (职业作家)

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[求助] ALD过程的软件模拟？已有1人参与

我看很多生长过程都有软件模拟，像MOCVD可用fluent模拟，不知道有没有什么软件可以模拟ＡＬＤ生长过程的，本人小菜鸟一只，望牛人们解惑？

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1楼2015-04-24 09:54:33

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小七工作室1

新虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

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wuyanl2013: 金币+10, ★有帮助 2015-06-26 11:17:55

可以看看有关文献

2楼2015-06-26 09:30:05

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