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aaron5235

木虫 (正式写手)

应助: 18 (小学生)
金币: 3174.8
散金: 1465
红花: 16
帖子: 453
在线: 107.9小时
虫号: 1721181
注册: 2012-03-27
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 如何测金属薄膜的电阻率或者说I-V曲线？已有2人参与

在硅片上制备电费金属薄膜（Cu膜或者Cr膜），500nm左右。希望测量其电阻率.不知什么方法。手上有吉时利6514.不知如何操作

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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能

1楼 2015-04-22 19:50:20

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nanotricks

新虫 (正式写手)

MN-EPI: 1
应助: 70 (初中生)
金币: 10750.5
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红花: 28
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虫号: 1157881
注册: 2010-11-28
专业: 功能与智能高分子

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
aaron5235: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-04-27 18:35:24

这个吉时利6514只能测量高阻，对于金属的低阻测试不了，可以用吉时利2400源表测试，利用四线法测试，
这个通过面板设置即可，前提示需要买一个四探针探头，四根线通过香蕉头连接到吉时利2400的四个端口上，
然后通过面板设置，即可测试，面板的设置也非常简单。
四探针探头和探头架子可以参考这样的，价格便宜好用。
http://item.taobao.com/item.htm? ... ;abbucket=16#detail

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3楼2015-04-24 07:42:05

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aaron5235

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nanotricks

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