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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 如何测金属薄膜的电阻率或者说I-V曲线？
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aaron5235

木虫 (正式写手)

[求助] 如何测金属薄膜的电阻率或者说I-V曲线？ 已有2人参与

在硅片上制备电费金属薄膜（Cu膜或者Cr膜），500nm左右。希望测量其电阻率.不知什么方法。手上有吉时利6514.不知如何操作
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1楼 2015-04-22 19:50:20
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nanotricks

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
aaron5235: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-04-27 18:35:24
这个吉时利6514只能测量高阻，对于金属的低阻测试不了，可以用吉时利2400源表测试，利用四线法测试，
这个通过面板设置即可，前提示需要买一个四探针探头，四根线通过香蕉头连接到吉时利2400的四个端口上，
然后通过面板设置，即可测试，面板的设置也非常简单。
四探针探头和探头架子可以参考这样的，价格便宜好用。
http://item.taobao.com/item.htm? ... ;abbucket=16#detail
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3楼2015-04-24 07:42:05
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