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aaron5235木虫 (正式写手)
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[求助]
如何测金属薄膜的电阻率或者说I-V曲线？ 已有2人参与
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| 在硅片上制备电费金属薄膜（Cu膜或者Cr膜），500nm左右。希望测量其电阻率.不知什么方法。手上有吉时利6514.不知如何操作 |
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 薄膜制备与特性 |
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nanotricks
新虫 (正式写手)
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【答案】应助回帖
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aaron5235: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-04-27 18:35:24
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这个吉时利6514只能测量高阻，对于金属的低阻测试不了，可以用吉时利2400源表测试，利用四线法测试， 这个通过面板设置即可，前提示需要买一个四探针探头，四根线通过香蕉头连接到吉时利2400的四个端口上， 然后通过面板设置，即可测试，面板的设置也非常简单。 四探针探头和探头架子可以参考这样的，价格便宜好用。 http://item.taobao.com/item.htm? ... ;abbucket=16#detail |
3楼2015-04-24 07:42:05
