应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 如何测量金属氧化物半导体IGZO薄膜中H含量？
141/2返回列表12下一页
查看: 1882  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

秦羽重楼

新虫 (初入文坛)

[求助] 如何测量金属氧化物半导体IGZO薄膜中H含量？ 已有3人参与

在玻璃衬底上磁控溅射生长了一层金属氧化物IGZO薄膜（靶材IGZO，通Ar/O2），向各位请教用什么方法测量薄膜中氢含量?

本人初到论坛，还望各位前辈赐教。万谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
知足常跪。
1楼 2015-03-20 10:32:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

蔡超

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
秦羽重楼: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢你啊。 2015-03-20 15:30:17
可以考虑用一下电子显微分析，比如EDS等。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2015-03-20 13:47:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

秦羽重楼

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 蔡超 at 2015-03-20 13:47:51
可以考虑用一下电子显微分析，比如EDS等。

首先感谢您的回复，我也查了下，有人说EDS对于原子量小的轻元素很难测出来，并且准确性不高，XPS也不行，可以用核磁共振NMR来测。
赞一下 回复此楼
知足常跪。
3楼2015-03-20 15:30:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 蔡超 at 2015-03-20 13:47:51
可以考虑用一下电子显微分析，比如EDS等。

开玩笑啊。。H原子一点信号都没有的，eds的window都是Be的,所以Be以前的元素没可能检测的了
赞一下 回复此楼
4楼2015-03-20 19:33:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 秦羽重楼 at 2015-03-20 15:30:21
首先感谢您的回复，我也查了下，有人说EDS对于原子量小的轻元素很难测出来，并且准确性不高，XPS也不行，可以用核磁共振NMR来测。...

IGZO不是个金属氧化物么，为啥要测H啊，溅射薄膜的话NMR不好测嗯，可以考虑SIMS不过也不太能定量
赞一下 回复此楼
5楼2015-03-20 19:34:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
秦羽重楼: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢 2015-03-23 10:29:40
考虑ICP看看，具体技术问题问问测试老师
赞一下 回复此楼
我~心~依~旧
6楼2015-03-22 20:36:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

秦羽重楼

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-03-20 19:33:01
开玩笑啊。。H原子一点信号都没有的，eds的window都是Be的,所以Be以前的元素没可能检测的了...

那请问您，对于H原子这种轻原子，用什么方法能相对准确的测出其含量呢？
赞一下 回复此楼
知足常跪。
7楼2015-03-23 09:47:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

秦羽重楼

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-03-20 19:34:55
IGZO不是个金属氧化物么，为啥要测H啊，溅射薄膜的话NMR不好测嗯，可以考虑SIMS不过也不太能定量...

理论上磁控溅射生长的IGZO薄膜是没有H原子的，但玻璃衬底上应该有水分子，在真空腔里抽真空后可能还残有水分子，溅射过程中H原子可能嵌在薄膜里，我也只是猜的，至于含量我想肯定很小，能不能测出来还是个问题，精度高不高也是个问题。感谢您的回复！
赞一下 回复此楼
知足常跪。
8楼2015-03-23 10:04:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
秦羽重楼: 金币+2, ★★★很有帮助, 感谢 2015-03-23 10:35:47
引用回帖:
8楼: Originally posted by 秦羽重楼 at 2015-03-23 10:04:46
理论上磁控溅射生长的IGZO薄膜是没有H原子的，但玻璃衬底上应该有水分子，在真空腔里抽真空后可能还残有水分子，溅射过程中H原子可能嵌在薄膜里，我也只是猜的，至于含量我想肯定很小，能不能测出来还是个问题，精 ...

个人觉得不是很可能，而且你只要从高真空取出来表面就会吸附空气中水的，测得出来测不出来都可以理解，测氢基本就是质谱一类的，而且最好做原位检测

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
9楼2015-03-23 10:10:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

秦羽重楼

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yuan999 at 2015-03-22 20:36:48
考虑ICP看看，具体技术问题问问测试老师

谢谢您的回复，ICP测量范围不是B~U吗？我越感觉我现在要测那微量的H意义不大了。
赞一下 回复此楼
知足常跪。
10楼2015-03-23 10:27:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 秦羽重楼 的主题更新
141/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +16 基诺咪客 2026-08-17 20/1000 2026-08-20 12:44 by 201120518022
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 言之凿凿，8月21号(明天)放榜 +12 医学老男孩 2026-08-20 14/700 2026-08-20 10:53 by ran2233
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +21 yaoyewhu2008 2026-08-20 21/1050 2026-08-20 10:37 by Vivilian
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +14 kkkl_v 2026-08-19 15/750 2026-08-20 08:21 by sunzitan
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 13/650 2026-08-19 21:28 by aasahr
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？ +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +4 yuleib84 2026-08-19 5/250 2026-08-19 19:52 by hhs666
[基金申请] 今天放榜吗？ +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +10 wangze12014 2026-08-14 12/600 2026-08-19 16:56 by 苦难博士
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 什么时候开奖？ +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[精细化工] 招聘 金属平磨液，抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭