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tonybeing

新虫 (初入文坛)

[求助] 在石英玻璃上制备的二氧化钛薄膜测不出电阻率，抓狂了都？ 已有2人参与

小弟本来是学习电子的，现在跟在导师后面做薄膜物理，有点头大啊。。。（刚来报到还没有金币，以后有了一定多送各位了）
刚在石英玻璃上制备的二氧化钛薄膜却测不出电阻率，根本不导电，镀膜4层，6层，8层都一样，泪奔啊。。亲各位高手帮我看看是不是二氧化钛制备有问题啊。。。。
制备方法：钛酸四丁酯：乙酰丙酮：无水乙醇=1:0.4:10(物质的量之比)，去离子水与钛酸四丁酯物质的量之比是4:1，先将无水乙醇和乙酰丙酮混合，后向其滴加钛酸四丁酯，搅拌20min后结束，另外取一烧杯加入蒸馏水和一点儿盐酸，混合后再将前面配置的混合溶液滴加进来，同时一直搅拌，然后用PH试纸测定，原打算将PH值调至2，后发现PH值刚好是2，于是就不用继续滴加盐酸了。。。搅拌30min后停止静置一天后镀膜。。用匀胶机镀膜的，设定为9s/500转，30/3000转，每次甩完放到烘烤台110℃烤5min，镀膜4层，6层，8层，最后放在马沸炉550℃退火2h，最后取出来用四探针测试仪和万用表怎么测都测不出数据。求救啊，哪里有错啊大神们。。。
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我是小石头，我为公益代言
1楼 2014-07-25 11:27:42
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tonybeing(ivansdk代发): 金币+3 2014-10-23 09:45:06
你在平面上测的吧   电阻太大了
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2楼2014-07-25 12:30:14
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tonybeing

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2014-07-25 12:30:14
你在平面上测的吧   电阻太大了

是的呢，那应该怎样测呢？已经没招了都。。。。谢了
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我是小石头，我为公益代言
3楼2014-07-25 16:41:16
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by tonybeing at 2014-07-25 16:41:16
是的呢，那应该怎样测呢？已经没招了都。。。。谢了...

用导电的基底   测截面的电阻
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4楼2014-07-25 16:52:23
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陈泽群

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2014-07-25 16:52:23
用导电的基底   测截面的电阻...

我用的硅基片，测平面的电阻也不行，你说的测截面怎么测啊
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5楼2014-09-05 22:51:35
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陈泽群

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
ivansdk: 金币-1, 非应助 2014-10-23 09:44:56
我是在硅基片上的镀的，10层，4000r的转速，40s，650度氮气气氛三小时。但是也测不出来。你说的测截面怎么测啊
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6楼2014-09-05 22:53:08
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)
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5楼: Originally posted by 陈泽群 at 2014-09-05 22:51:35
我用的硅基片，测平面的电阻也不行，你说的测截面怎么测啊...

用重掺杂的硅   最好使用导电玻璃   硅表面有一层氧化层  
直接一探针压在基底上一探针压在膜上
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7楼2014-09-06 09:38:57
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陈泽群

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2014-09-06 09:38:57
用重掺杂的硅   最好使用导电玻璃   硅表面有一层氧化层  
直接一探针压在基底上一探针压在膜上...

但是我们的四探针仪没法扎两面啊，只能扎一面，我用的就是带电极的硅基片，一面被氧化为二氧化硅的
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8楼2014-09-06 10:09:05
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 陈泽群 at 2014-09-06 10:09:05
但是我们的四探针仪没法扎两面啊，只能扎一面，我用的就是带电极的硅基片，一面被氧化为二氧化硅的...

直接有两个探针测I-V 呗
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9楼2014-09-06 15:52:15
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