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tonybeing

新虫 (初入文坛)

[求助] 在石英玻璃上制备的二氧化钛薄膜测不出电阻率,抓狂了都? 已有2人参与

小弟本来是学习电子的,现在跟在导师后面做薄膜物理,有点头大啊。。。(刚来报到还没有金币,以后有了一定多送各位了)
刚在石英玻璃上制备的二氧化钛薄膜却测不出电阻率,根本不导电,镀膜4层,6层,8层都一样,泪奔啊。。亲各位高手帮我看看是不是二氧化钛制备有问题啊。。。。
制备方法:钛酸四丁酯:乙酰丙酮:无水乙醇=1:0.4:10(物质的量之比),去离子水与钛酸四丁酯物质的量之比是4:1,先将无水乙醇和乙酰丙酮混合,后向其滴加钛酸四丁酯,搅拌20min后结束,另外取一烧杯加入蒸馏水和一点儿盐酸,混合后再将前面配置的混合溶液滴加进来,同时一直搅拌,然后用PH试纸测定,原打算将PH值调至2,后发现PH值刚好是2,于是就不用继续滴加盐酸了。。。搅拌30min后停止静置一天后镀膜。。用匀胶机镀膜的,设定为9s/500转,30/3000转,每次甩完放到烘烤台110℃烤5min,镀膜4层,6层,8层,最后放在马沸炉550℃退火2h,最后取出来用四探针测试仪和万用表怎么测都测不出数据。求救啊,哪里有错啊大神们。。。
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tonybeing(ivansdk代发): 金币+3 2014-10-23 09:45:06
你在平面上测的吧   电阻太大了
2楼2014-07-25 12:30:14
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tonybeing

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2014-07-25 12:30:14
你在平面上测的吧   电阻太大了

是的呢,那应该怎样测呢?已经没招了都。。。。谢了
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3楼2014-07-25 16:41:16
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by tonybeing at 2014-07-25 16:41:16
是的呢,那应该怎样测呢?已经没招了都。。。。谢了...

用导电的基底   测截面的电阻
4楼2014-07-25 16:52:23
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陈泽群

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2014-07-25 16:52:23
用导电的基底   测截面的电阻...

我用的硅基片,测平面的电阻也不行,你说的测截面怎么测啊
5楼2014-09-05 22:51:35
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陈泽群

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


ivansdk: 金币-1, 非应助 2014-10-23 09:44:56
我是在硅基片上的镀的,10层,4000r的转速,40s,650度氮气气氛三小时。但是也测不出来。你说的测截面怎么测啊
6楼2014-09-05 22:53:08
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 陈泽群 at 2014-09-05 22:51:35
我用的硅基片,测平面的电阻也不行,你说的测截面怎么测啊...

用重掺杂的硅   最好使用导电玻璃   硅表面有一层氧化层  
直接一探针压在基底上一探针压在膜上
7楼2014-09-06 09:38:57
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陈泽群

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2014-09-06 09:38:57
用重掺杂的硅   最好使用导电玻璃   硅表面有一层氧化层  
直接一探针压在基底上一探针压在膜上...

但是我们的四探针仪没法扎两面啊,只能扎一面,我用的就是带电极的硅基片,一面被氧化为二氧化硅的
8楼2014-09-06 10:09:05
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 陈泽群 at 2014-09-06 10:09:05
但是我们的四探针仪没法扎两面啊,只能扎一面,我用的就是带电极的硅基片,一面被氧化为二氧化硅的...

直接有两个探针测I-V 呗
9楼2014-09-06 15:52:15
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