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周月年

银虫 (小有名气)

[求助] 聚焦离子束(FIB)切片能精确到多少微米? 已有1人参与

表面机械研磨的铜合金试样想观察距表面不同距离的形貌,用FIB切片的话,能精确到多少微米?能不能正好切到距表面10微米的地方?
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
周月年: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-04-21 17:11:53
另外,你说的10微米,实际上没有说精度啊,是10微米正负1微米,还是正负0.1微米?

建议用等离子抛光机,对于大截面样品,比起FIB还是省钱省时一些的,应该够达到你的目的。
3楼2015-04-20 11:25:57
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
FIB的精度是纳米级的,你该担心的是你切的断面会不会太厚。
2楼2015-04-20 11:18:57
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周月年

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by papaverme at 2015-04-20 11:25:57
另外,你说的10微米,实际上没有说精度啊,是10微米正负1微米,还是正负0.1微米?

建议用等离子抛光机,对于大截面样品,比起FIB还是省钱省时一些的,应该够达到你的目的。

我的试样表面不是很平整,有一定的粗糙度。我问了一个FIB的操作人员,他说材料不一样,在仪器上输入切掉1微米,可能剥离掉的部分是10微米。我主要就是想知道能不能一下剥掉5微米或者10微米?精确到1微米也行。
4楼2015-04-21 17:11:19
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周月年

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by papaverme at 2015-04-20 11:25:57
另外,你说的10微米,实际上没有说精度啊,是10微米正负1微米,还是正负0.1微米?

建议用等离子抛光机,对于大截面样品,比起FIB还是省钱省时一些的,应该够达到你的目的。

另外你说的等离子抛光机,表面不平整的话也可以用吗?
5楼2015-04-21 17:12:24
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