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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 聚焦离子束（FIB）切片能精确到多少微米？
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周月年

银虫 (小有名气)

[求助] 聚焦离子束（FIB）切片能精确到多少微米？ 已有1人参与

表面机械研磨的铜合金试样想观察距表面不同距离的形貌，用FIB切片的话，能精确到多少微米？能不能正好切到距表面10微米的地方？
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1楼 2015-04-20 10:56:36
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
FIB的精度是纳米级的，你该担心的是你切的断面会不会太厚。
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2楼2015-04-20 11:18:57
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
周月年: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-04-21 17:11:53
另外，你说的10微米，实际上没有说精度啊，是10微米正负1微米，还是正负0.1微米？

建议用等离子抛光机，对于大截面样品，比起FIB还是省钱省时一些的，应该够达到你的目的。
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3楼2015-04-20 11:25:57
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周月年

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by papaverme at 2015-04-20 11:25:57
另外，你说的10微米，实际上没有说精度啊，是10微米正负1微米，还是正负0.1微米？

建议用等离子抛光机，对于大截面样品，比起FIB还是省钱省时一些的，应该够达到你的目的。

我的试样表面不是很平整，有一定的粗糙度。我问了一个FIB的操作人员，他说材料不一样，在仪器上输入切掉1微米，可能剥离掉的部分是10微米。我主要就是想知道能不能一下剥掉5微米或者10微米？精确到1微米也行。
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4楼2015-04-21 17:11:19
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周月年

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by papaverme at 2015-04-20 11:25:57
另外，你说的10微米，实际上没有说精度啊，是10微米正负1微米，还是正负0.1微米？

建议用等离子抛光机，对于大截面样品，比起FIB还是省钱省时一些的，应该够达到你的目的。

另外你说的等离子抛光机，表面不平整的话也可以用吗？
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5楼2015-04-21 17:12:24
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zhanpujie

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 周月年 at 2015-04-21 17:12:24
另外你说的等离子抛光机，表面不平整的话也可以用吗？...

既然是抛光肯定是把表面不平整的抛光尽量光滑嘛
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感谢现在努力的自己……
6楼2015-06-25 09:29:50
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