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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

[求助] 半导体上金电极的退火 已有2人参与

我在Si薄膜两端镀上了金,形成了金属-半导体-金属结构,但金的厚度只有7、8个纳米,请问各位大侠,怎样的退火条件才能形成较好的电极接触?
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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yajing.0816 at 2015-04-02 10:57:40
快速退火炉退火 300度左右吧

请问时间多长呢?
4楼2015-04-13 20:32:55
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查看全部 6 个回答

szzpanda

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
要形成欧姆接触的话的退火的准确条件需要自己来摸索,因为你生长条件的不同,可能退火条件会有差异,从论文里查到的不一定合适。
2楼2015-04-01 21:17:40
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yajing.0816

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-04-13 20:32:31
快速退火炉退火 300度左右吧
3楼2015-04-02 10:57:40
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yajing.0816

铁杆木虫 (小有名气)

但是需要用快速退火炉,采用钨灯辐照加热的那种。。
6楼2015-04-15 08:46:11
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