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fmgao

金虫 (小有名气)

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[交流] 【请教】场效应管纳米器件测试

测单根纳米线场效应管器件，没有数据，测试人说是纳米线与电极接触不好，有哪位同行做过这样的实验，是不是需要热处理，没有真空炉，只有气氛炉，气氛炉可以吗，热处理温度是多少呀，怎么样才能有可靠的数据测出来呀？

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1楼2011-01-15 09:49:18

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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)

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fmgao(金币+2): 2011-01-15 10:07:46
wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:43

一般要退火，温度根据FET而定，
没有性能，也可能纳米线没有接触到金属上，
你是用什么方法制作FET？

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2楼2011-01-15 09:53:15

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fmgao

金虫 (小有名气)

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wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:50

用电子束曝光制备电极

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3楼2011-01-15 10:05:32

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fmgao

金虫 (小有名气)

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wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:57

气氛炉子可以退吗，我用的是金电极，退火500度应该查不多吧？

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4楼2011-01-15 10:07:30

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newxw

银虫 (正式写手)

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可以再看纳米线场效应管器件的文献（很多的吧）

wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:54:04

顺便，在本单位还是外单位测的？

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5楼2011-01-16 02:32:23

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xjajx

至尊木虫 (著名写手)

fmgao(金币+5): 2011-01-17 10:07:51
wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:54:12

引用回帖:

Originally posted by fmgao at 2011-01-15 09:49:18:
测单根纳米线场效应管器件，没有数据，测试人说是纳米线与电极接触不好，有哪位同行做过这样的实验，是不是需要热处理，没有真空炉，只有气氛炉，气氛炉可以吗，热处理温度是多少呀，怎么样才能有可靠的数据测出来 ...

一般需要退火，但很多也是不退火做出来的，接触电阻这个很难说，温度应该看你自己的材料和substrate的情况，我感觉更多时候是自己样品的问题，纳米尺度，虽然你宏观测或者TEM等都是晶体的，你怎么保证你测那根结晶性就好？所以多测一些

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6楼2011-01-16 11:50:07

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