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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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fmgao

金虫 (小有名气)


[交流] 【请教】场效应管纳米器件测试

测单根纳米线场效应管器件,没有数据,测试人说是纳米线与电极接触不好,有哪位同行做过这样的实验,是不是需要热处理,没有真空炉,只有气氛炉,气氛炉可以吗,热处理温度是多少呀,怎么样才能有可靠的数据测出来呀?
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有风无雨

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问你们制作FET时,源漏极下面必须要用扩散或者离子注入制作一个n+或p+区(以实现电极和半导体层之间的欧姆接触)吗?有的FET采用底栅有的采用顶栅,怎么选择,各有什么好处呢?
11楼2013-03-02 17:10:22
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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)


fmgao(金币+2): 2011-01-15 10:07:46
wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:43
一般要退火,温度根据FET而定,
没有性能, 也可能纳米线没有接触到金属上,
你是用什么方法制作FET?
2楼2011-01-15 09:53:15
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fmgao

金虫 (小有名气)


回复

wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:50
用电子束曝光制备电极
3楼2011-01-15 10:05:32
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fmgao

金虫 (小有名气)


wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:57
气氛炉子可以退吗,我用的是金电极,退火500度应该查不多吧?
4楼2011-01-15 10:07:30
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