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【请教】场效应管纳米器件测试
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fmgao
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【请教】场效应管纳米器件测试
测单根纳米线场效应管器件,没有数据,测试人说是纳米线与电极接触不好,有哪位同行做过这样的实验,是不是需要热处理,没有真空炉,只有气氛炉,气氛炉可以吗,热处理温度是多少呀,怎么样才能有可靠的数据测出来呀?
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2011-01-15 09:49:18
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xjajx
至尊木虫
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fmgao(金币+5): 2011-01-17 10:07:51
wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:54:12
引用回帖:
Originally posted by
fmgao
at 2011-01-15 09:49:18:
测单根纳米线场效应管器件,没有数据,测试人说是纳米线与电极接触不好,有哪位同行做过这样的实验,是不是需要热处理,没有真空炉,只有气氛炉,气氛炉可以吗,热处理温度是多少呀,怎么样才能有可靠的数据测出来 ...
一般需要退火,但很多也是不退火做出来的,接触电阻这个很难说,温度应该看你自己的材料和substrate的情况,我感觉更多时候是自己样品的问题,纳米尺度,虽然你宏观测或者TEM等都是晶体的,你怎么保证你测那根结晶性就好?所以多测一些
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6楼
2011-01-16 11:50:07
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mmsabina
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fmgao(金币+2): 2011-01-15 10:07:46
wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:43
一般要退火,温度根据FET而定,
没有性能, 也可能纳米线没有接触到金属上,
你是用什么方法制作FET?
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2011-01-15 09:53:15
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fmgao
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wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:50
用电子束曝光制备电极
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2011-01-15 10:05:32
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fmgao
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wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:53:57
气氛炉子可以退吗,我用的是金电极,退火500度应该查不多吧?
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2011-01-15 10:07:30
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