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fmgao

金虫 (小有名气)

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[交流] 【请教】场效应管纳米器件测试

测单根纳米线场效应管器件，没有数据，测试人说是纳米线与电极接触不好，有哪位同行做过这样的实验，是不是需要热处理，没有真空炉，只有气氛炉，气氛炉可以吗，热处理温度是多少呀，怎么样才能有可靠的数据测出来呀？

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1楼 2011-01-15 09:49:18

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xjajx

至尊木虫 (著名写手)

fmgao(金币+5): 2011-01-17 10:07:51
wandaohzl: 鼓励交流 2011-01-17 10:54:12

引用回帖:

Originally posted by fmgao at 2011-01-15 09:49:18:
测单根纳米线场效应管器件，没有数据，测试人说是纳米线与电极接触不好，有哪位同行做过这样的实验，是不是需要热处理，没有真空炉，只有气氛炉，气氛炉可以吗，热处理温度是多少呀，怎么样才能有可靠的数据测出来 ...

一般需要退火，但很多也是不退火做出来的，接触电阻这个很难说，温度应该看你自己的材料和substrate的情况，我感觉更多时候是自己样品的问题，纳米尺度，虽然你宏观测或者TEM等都是晶体的，你怎么保证你测那根结晶性就好？所以多测一些