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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

[求助] 半导体上金电极的退火已有2人参与

我在Si薄膜两端镀上了金,形成了金属-半导体-金属结构,但金的厚度只有7、8个纳米,请问各位大侠,怎样的退火条件才能形成较好的电极接触?
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szzpanda

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
要形成欧姆接触的话的退火的准确条件需要自己来摸索,因为你生长条件的不同,可能退火条件会有差异,从论文里查到的不一定合适。
2楼2015-04-01 21:17:40
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