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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请教如何测定TiO2薄膜的厚度？
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yhflygo

金虫 (初入文坛)

[求助] 请教如何测定TiO2薄膜的厚度？ 已有9人参与

以玻璃为衬底，用溶胶凝胶法制备了TiO2薄膜，之前用两种方法测其厚度都失败了，请教各位高手有什么好办法可以比较精确的测定TiO2薄膜的厚度，谢谢！
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beyourself！！
1楼 2015-03-18 13:20:46
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by yhflygo at 2015-03-18 16:34:01
因为缺少椭偏仪等这样直接测量厚度的设备条件，所以之前是用间接测量方法（质量法）来计算薄膜厚度的，但是误差较大，不知道还有没有其他较精确的间接测量方法，感谢！...

薄膜厚度一般都在微米级别，使用椭偏仪也是通过光学的原理，获得光谱数据，从而间接得到薄膜厚度数据的。
至于其他的方法，暂时不太清楚，反正我觉得你这个质量法，不太靠谱。
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5楼2015-03-18 17:00:07
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我实验室的台阶仪和AFM都可以测厚度
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yhflygo
7楼2015-03-19 11:06:09
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yangjianwei7

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
原子力就可以测，平均厚度

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学无止境
11楼2015-03-20 10:39:39
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普通回帖

石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是什么测量的，椭偏仪采用光学的方法不行的话，你可以考虑使用面阻测试仪，来测量厚度。
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yhflygo
2楼2015-03-18 16:04:15
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dwysd

木虫 (著名写手)
溶胶凝胶方法制备的薄膜本身粗糙度较大，难以确定薄膜厚度。
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3楼2015-03-18 16:11:30
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yhflygo

金虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 石银东 at 2015-03-18 16:04:15
你是什么测量的，椭偏仪采用光学的方法不行的话，你可以考虑使用面阻测试仪，来测量厚度。

因为缺少椭偏仪等这样直接测量厚度的设备条件，所以之前是用间接测量方法（质量法）来计算薄膜厚度的，但是误差较大，不知道还有没有其他较精确的间接测量方法，感谢！
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beyourself！！
4楼2015-03-18 16:34:01
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匿名

用户注销 (著名写手)

south wind
本帖仅楼主可见
6楼2015-03-19 00:45:18
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
XRF建模测试比较迅速准确；
首先选几个较厚样品（100nm，200nm，300nm，大约厚度的）做SEM断面，记录准确厚度，然后利用该样品使用XRF上，进行建模，建模成功后，可以较准确的表征薄膜厚度了
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8楼2015-03-19 11:57:50
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sxh0353

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做一个电镜，SEM照片上可以直接测出薄膜厚度。
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9楼2015-03-19 16:36:37
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yhflygo

金虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-19 11:06:09
我实验室的台阶仪和AFM都可以测厚度

我的样品能送到您那去测下厚度么？
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beyourself！！
10楼2015-03-20 10:08:21
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