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yhflygo

金虫 (初入文坛)

[求助] 请教如何测定TiO2薄膜的厚度? 已有9人参与

以玻璃为衬底,用溶胶凝胶法制备了TiO2薄膜,之前用两种方法测其厚度都失败了,请教各位高手有什么好办法可以比较精确的测定TiO2薄膜的厚度,谢谢!
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beyourself!!
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
XRF建模测试比较迅速准确;
首先选几个较厚样品(100nm,200nm,300nm,大约厚度的)做SEM断面,记录准确厚度,然后利用该样品使用XRF上,进行建模,建模成功后,可以较准确的表征薄膜厚度了
8楼2015-03-19 11:57:50
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你是什么测量的,椭偏仪采用光学的方法不行的话,你可以考虑使用面阻测试仪,来测量厚度。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2015-03-18 16:04:15
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dwysd

木虫 (著名写手)

溶胶凝胶方法制备的薄膜本身粗糙度较大,难以确定薄膜厚度。
3楼2015-03-18 16:11:30
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yhflygo

金虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 石银东 at 2015-03-18 16:04:15
你是什么测量的,椭偏仪采用光学的方法不行的话,你可以考虑使用面阻测试仪,来测量厚度。

因为缺少椭偏仪等这样直接测量厚度的设备条件,所以之前是用间接测量方法(质量法)来计算薄膜厚度的,但是误差较大,不知道还有没有其他较精确的间接测量方法,感谢!
beyourself!!
4楼2015-03-18 16:34:01
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