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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请教如何测定TiO2薄膜的厚度？
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yangjianwei7

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
原子力就可以测，平均厚度

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学无止境
11楼2015-03-20 10:39:39
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wintechnano

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
膜厚的测量，如果膜层比较平整并且可以透光，可以用椭偏仪。
如果不是透明的，膜层的厚度大于500nm,可认用FIB+SEM做截面测量。
如果测量的膜层厚度小于500nm,要想准确测量最好使用TEM了，并且用TEM-EDX可以测交界面的状况。
欢迎Email与我探讨wintechnano@163.com
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12楼2015-03-20 13:42:02
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19911201

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

表面轮廓仪和薄膜测厚仪都可以直接得到厚度值，前者是利用探针感受高度差得到膜厚，后者是光学干涉计算得到厚度值
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13楼2016-03-20 14:45:41
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qianmingli

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-19 11:06:09
我实验室的台阶仪和AFM都可以测厚度

请问楼主在哪个学校？我们最近也想测试薄膜厚度
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14楼2016-05-10 16:41:11
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

测试数据准确度的话，还是光谱椭偏仪的好
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QQ：1723046531
15楼2016-05-10 17:20:51
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麦基啊麦基

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-19 11:06:09
我实验室的台阶仪和AFM都可以测厚度

制备AFM样品时是用胶带做出来台阶么？

发自小木虫IOS客户端
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16楼2016-11-28 14:36:56
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匿名

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17楼2016-11-28 18:51:44
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匿名
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18楼2016-11-30 21:30:22
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