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yangjianwei7

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
原子力就可以测,平均厚度

[ 发自小木虫客户端 ]
学无止境
11楼2015-03-20 10:39:39
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wintechnano

新虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
膜厚的测量,如果膜层比较平整并且可以透光,可以用椭偏仪。
如果不是透明的,膜层的厚度大于500nm,可认用FIB+SEM做截面测量。
如果测量的膜层厚度小于500nm,要想准确测量最好使用TEM了,并且用TEM-EDX可以测交界面的状况。
欢迎Email与我探讨wintechnano@163.com
12楼2015-03-20 13:42:02
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19911201

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

表面轮廓仪和薄膜测厚仪都可以直接得到厚度值,前者是利用探针感受高度差得到膜厚,后者是光学干涉计算得到厚度值
13楼2016-03-20 14:45:41
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qianmingli

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-19 11:06:09
我实验室的台阶仪和AFM都可以测厚度

请问楼主在哪个学校?我们最近也想测试薄膜厚度
14楼2016-05-10 16:41:11
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

测试数据准确度的话,还是光谱椭偏仪的好
QQ:1723046531
15楼2016-05-10 17:20:51
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麦基啊麦基

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-19 11:06:09
我实验室的台阶仪和AFM都可以测厚度

制备AFM样品时是用胶带做出来台阶么?

发自小木虫IOS客户端
16楼2016-11-28 14:36:56
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匿名

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本帖仅楼主可见
17楼2016-11-28 18:51:44
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18楼2016-11-30 21:30:22
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