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求助关于AZ5214显影的问题已有2人参与
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| 旋涂AZ5214e，大概1.5micron左右的厚度。MF319显影30s吹干后发现表面有干涉条纹，感觉显影没有完全。然后再重新显影发现表面已经没有变化了，台阶仪测试也发现没有变化。这是怎么回事？谢谢大神解答啊！ |
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vincentwz
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