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edwardwitten

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于AZ5214显影的问题 已有2人参与

旋涂AZ5214e,大概1.5micron左右的厚度。MF319显影30s吹干后发现表面有干涉条纹,感觉显影没有完全。然后再重新显影发现表面已经没有变化了,台阶仪测试也发现没有变化。这是怎么回事?谢谢大神解答啊!
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
估计是残留的很薄的一层,如果后续是做刻蚀的话就没关系,刻蚀的时候会很快把它刻掉。如果不希望有就稍微增加曝光量

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2015-03-15 16:55:10
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edwardwitten

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2015-03-15 16:55:10
估计是残留的很薄的一层,如果后续是做刻蚀的话就没关系,刻蚀的时候会很快把它刻掉。如果不希望有就稍微增加曝光量

测量后感觉不是很薄啊,大概是600nm左右。还有,曝光过度的话,会不会出现最终的图案变的很薄的情况?
3楼2015-03-16 09:20:11
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YLH3211

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

显不掉就是没有曝透,可以适当增加曝光时间或者用等离子去胶机打一下。
4楼2015-03-25 21:41:06
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