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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助掩膜版制作的问题
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idanceu

新虫 (小有名气)

[求助] 求助掩膜版制作的问题 已有3人参与

请教一下大家，我画了一个4寸的版图，打算制一个5寸大小 的掩膜版，4寸到5寸之间的这块区域怎么处理，是画上不透光，还是透光呢？
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1楼 2015-03-11 18:34:06
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)
看你光刻是正胶还是负胶，正的不透光。负的透光
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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
9楼2016-05-18 21:22:08
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不透光。你的图形应该在4寸之内，所以4寸之外的地方必须不透光，这样光刻的时候光才能不通过。
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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
2楼2015-03-11 20:03:49
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dahai777

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
3楼2015-03-12 09:45:57
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笑月天郎

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dahai777 at 2015-03-12 09:45:57
光刻版阴阳定义
当所制作的光刻掩模版大面积不透光时，称该版为暗场版，当大面积透光时，
称该版为明场版。当在计算机上使用L-Edit 软件绘制图形的区域为所制光刻掩
模版上的不透光区域时，称该版为阳版，当绘制 ...

问一下，已经绘制好的版图，使用ledit能不能直接将阳版转换成阴版？多谢
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4楼2015-06-15 11:36:11
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