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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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idanceu

新虫 (小有名气)

[求助] 求助掩膜版制作的问题 已有3人参与

请教一下大家,我画了一个4寸的版图,打算制一个5寸大小 的掩膜版,4寸到5寸之间的这块区域怎么处理,是画上不透光,还是透光呢?
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dahai777

禁虫 (初入文坛)

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3楼2015-03-12 09:45:57
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不透光。你的图形应该在4寸之内,所以4寸之外的地方必须不透光,这样光刻的时候光才能不通过。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
2楼2015-03-11 20:03:49
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笑月天郎

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by dahai777 at 2015-03-12 09:45:57
光刻版阴阳定义
当所制作的光刻掩模版大面积不透光时,称该版为暗场版,当大面积透光时,
称该版为明场版。当在计算机上使用L-Edit 软件绘制图形的区域为所制光刻掩
模版上的不透光区域时,称该版为阳版,当绘制 ...

问一下,已经绘制好的版图,使用ledit能不能直接将阳版转换成阴版?多谢
4楼2015-06-15 11:36:11
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白居易

新虫 (初入文坛)


都可以,对最后曝光使用基本不影响,但一般制版商会做成不透光。
6楼2015-10-26 16:12:51
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