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gao198907

铜虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发镀Y3Fe5O12已有2人参与

用高真空电子束镀膜机镀Y3Fe5O12薄膜,用的是块状的Y3Fe5O12靶材,但是做出来的薄膜退火完,去测XRD发现全是Fe2O3,没有测到Y3Fe5O12和Y2O3。这是什么原因呢
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gladiater

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by gao198907 at 2015-01-28 14:11:15
靶材是我们自己做的,电镜,xrd,vsm都测了纯度那些都没问题,现在遇到的问题就是氧化钇还留在坩埚里,当时用熔过的靶材去做了个能谱,里面铁都走完了,只剩下钇了,但是电子束束流又不能加的快(电子枪到某一真空 ...

分馏了,两种材料饱和蒸汽压相差太大。加大电子枪功率,或2种材料2个坩埚同时蒸镀,技术难度大不少。
7楼2015-01-28 21:53:46
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