| 查看: 3139 | 回复: 11 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联 已有3人参与
|
|||
|
实验室购买的是MicroChem公司SU8-2002光刻胶，用该公司提供的稀释剂将光刻胶稀释一倍，浓度与SU8-2000.5一致。 电子束曝光条件：电压50kV，电流30pA Written field 300um/10000dot 转速4000r 60s 前烘 65度1min，95度1min 显影前 65度1min，95度1min 显影60s，IPA清洗30s 具体曝光效果如下图所示。 曝光图形周期600nm, 柱子直径300nm-450nm。 请问图形边缘参差不齐、还有就是柱子之间交联的原因是什么呢？改进工艺条件应该从何处着手？  1,8.Y160kX50.0kV.jpg  2,7.Y160kX50.0kV.jpg  3.Y160kX50.0kV.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有87人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 如何旋涂400nm厚的光刻胶SU.8-2000.5
已经有1人回复
- Phil S. Baran1997-2012年的文章汇总
已经有140人回复
- Granular calcium carbide prodn. - by granulating fused
已经有3人回复
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
chemney: 金币+30, ★★★很有帮助 2015-01-30 08:55:10
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:32:41
chemney: 金币+30, ★★★很有帮助 2015-01-30 08:55:10
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:32:41
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2015-01-29 17:15:54
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2015-01-22 16:07:08
3楼2015-01-22 19:19:28
xiaoyueriyue
金虫 (正式写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 964.4
- 散金: 1051
- 红花: 6
- 帖子: 381
- 在线: 128小时
- 虫号: 1966386
- 注册: 2012-08-31
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
4楼2015-01-24 08:17:57
投票:
30