应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联
51/1返回列表
查看: 2785  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chemney

新虫 (初入文坛)

[求助] SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联 已有3人参与

实验室购买的是MicroChem公司SU8-2002光刻胶，用该公司提供的稀释剂将光刻胶稀释一倍，浓度与SU8-2000.5一致。
电子束曝光条件：电压50kV，电流30pA    Written field 300um/10000dot
                           转速4000r  60s
                           前烘 65度1min，95度1min
                           显影前  65度1min，95度1min
                           显影60s，IPA清洗30s
具体曝光效果如下图所示。
曝光图形周期600nm, 柱子直径300nm-450nm。
请问图形边缘参差不齐、还有就是柱子之间交联的原因是什么呢？改进工艺条件应该从何处着手？

SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联
1,8.Y160kX50.0kV.jpg


SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联-1
2,7.Y160kX50.0kV.jpg


SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联-2
3.Y160kX50.0kV.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-01-22 10:49:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemney: 金币+20, ★有帮助 2015-01-24 13:29:39
对SU8胶了解不多，但看SEM图形，应该是曝光和显影时间控制的问题，柱子的边缘不齐整和有胶交联现象有可能是曝光时间或者强度过大的原因，使得胶在显影过程中无法完全被去除，留下胶的残余。建议降低曝光强度，另外，选择性地延长一下显影和清洗的时间试试。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2015-01-24 08:17:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU-8胶还可以电子束曝光啊？
赞一下 回复此楼
2楼2015-01-22 16:07:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-22 16:07:08
SU-8胶还可以电子束曝光啊？

文献中有报道
回复此楼
3楼2015-01-22 19:19:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xiaoyueriyue at 2015-01-24 08:17:57
对SU8胶了解不多，但看SEM图形，应该是曝光和显影时间控制的问题，柱子的边缘不齐整和有胶交联现象有可能是曝光时间或者强度过大的原因，使得胶在显影过程中无法完全被去除，留下胶的残余。建议降低曝光强度，另外， ...

谢谢～
回复此楼
5楼2015-01-24 13:29:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085600材料与化工调剂 5+3 孜孜不倦2002 2026-04-19 6/300 2026-04-20 21:25 by babero
[考研] 320求调剂 +6 深郊akm 2026-04-17 6/300 2026-04-20 18:57 by fs26jie
[考研] 337求调剂 +3 jyz04 2026-04-18 3/150 2026-04-20 12:24 by 研可安
[考博] 申博 +3 Xyyx. 2026-04-18 3/150 2026-04-20 10:44 by YuY66
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 297，工科调剂? +11 河南农业大学-能 2026-04-14 11/550 2026-04-19 20:07 by Equinoxhua
[考研] 294求调剂 +8 淡然654321 2026-04-17 9/450 2026-04-19 19:51 by Equinoxhua
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 291求调剂 +12 关忆北. 2026-04-14 13/650 2026-04-19 16:50 by 中豫男
[考研] 085404 22408 309分求调剂 +10 lzmk 2026-04-14 11/550 2026-04-19 16:42 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 307中医考研调剂 +9 于以采蘩 2026-04-14 9/450 2026-04-19 08:41 by 烟雨流涯
[考研] 300求调剂 +12 橙a777 2026-04-15 12/600 2026-04-18 23:51 by 路病情
[考研] 297，工科调剂? +5 河南农业大学-能 2026-04-14 5/250 2026-04-18 15:17 by Equinoxhua
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 一志愿华中农业071010，320求调剂 +17 困困困困坤坤 2026-04-14 19/950 2026-04-17 20:08 by 关一盏灯cd
[考研] 322求调剂 +6 tekuzu 2026-04-17 6/300 2026-04-17 13:48 by Espannnnnol
[考研] 一志愿沪9，生物学326求调剂 +9 刘墨墨 2026-04-15 9/450 2026-04-16 17:14 by 崔崔崔cccc
[考研] 药学求调剂 +14 喽哈加油 2026-04-14 16/800 2026-04-16 10:15 by beilsong20
[考研] 一志愿A区211，22408 321求调剂 +6 随心所欲☆ 2026-04-15 7/350 2026-04-15 21:45 by lbsjt
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭