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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联
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chemney

新虫 (初入文坛)

[求助] SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联 已有3人参与

实验室购买的是MicroChem公司SU8-2002光刻胶，用该公司提供的稀释剂将光刻胶稀释一倍，浓度与SU8-2000.5一致。
电子束曝光条件：电压50kV，电流30pA    Written field 300um/10000dot
                           转速4000r  60s
                           前烘 65度1min，95度1min
                           显影前  65度1min，95度1min
                           显影60s，IPA清洗30s
具体曝光效果如下图所示。
曝光图形周期600nm, 柱子直径300nm-450nm。
请问图形边缘参差不齐、还有就是柱子之间交联的原因是什么呢？改进工艺条件应该从何处着手？

SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联
1,8.Y160kX50.0kV.jpg


SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联-1
2,7.Y160kX50.0kV.jpg


SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联-2
3.Y160kX50.0kV.jpg
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1楼 2015-01-22 10:49:02
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemney: 金币+20, ★有帮助 2015-01-24 13:29:39
对SU8胶了解不多，但看SEM图形，应该是曝光和显影时间控制的问题，柱子的边缘不齐整和有胶交联现象有可能是曝光时间或者强度过大的原因，使得胶在显影过程中无法完全被去除，留下胶的残余。建议降低曝光强度，另外，选择性地延长一下显影和清洗的时间试试。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2015-01-24 08:17:57
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普通回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU-8胶还可以电子束曝光啊？
赞一下 回复此楼
2楼2015-01-22 16:07:08
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chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-22 16:07:08
SU-8胶还可以电子束曝光啊？

文献中有报道
回复此楼
3楼2015-01-22 19:19:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xiaoyueriyue at 2015-01-24 08:17:57
对SU8胶了解不多，但看SEM图形，应该是曝光和显影时间控制的问题，柱子的边缘不齐整和有胶交联现象有可能是曝光时间或者强度过大的原因，使得胶在显影过程中无法完全被去除，留下胶的残余。建议降低曝光强度，另外， ...

谢谢～
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5楼2015-01-24 13:29:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
chemney: 金币+30, ★★★很有帮助 2015-01-30 08:55:10
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:32:41
本帖内容被屏蔽
6楼2015-01-29 17:15:54
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chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2015-01-29 17:15:54
很显然，曝光过度了，把剂量减下来。
另外，SU8做电子束光刻会天然的发生膨胀，所以你的柱子不圆就很正常了。想让它更圆，也需要减少剂量。
另外，建议换Gersteltec的1010 SU8胶，专门做电子束光刻用的，更容易一 ...

非常感谢~
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7楼2015-01-30 08:55:46
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小脚丫__

新虫 (初入文坛)
你好！请问一下，您用的什么稀释液？我最近在用microchem 的SU-8 2015，要旋涂150nm的膜，用的PGMEA稀释，但结果不成膜，很困惑。您说稀释一倍，成了2000.5的密度，能具体说一下吗？谢谢
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8楼2015-12-09 15:43:04
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小脚丫__

新虫 (初入文坛)
你用的SU-8 2000系列的稀释剂是什么？是PGMEA还是环戊酮？
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9楼2015-12-21 09:35:24
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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 小脚丫__ at 2015-12-09 09:43:04
你好！请问一下，您用的什么稀释液？我最近在用microchem 的SU-8 2015，要旋涂150nm的膜，用的PGMEA稀释，但结果不成膜，很困惑。您说稀释一倍，成了2000.5的密度，能具体说一下吗？谢谢

PGMEA 是显影剂 你搞错了
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业精于勤
10楼2017-03-23 17:48:25
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